ASML، مختبر Imec البلجيكي مفتوح لاختبار أحدث أدوات صنع الرقائق
شعار ASML في المقر الرئيسي في فيلدهوفن بهولندا في 16 يونيو 2023.
بيروشكا فان دي وو | رويترز
ASML، أكبر صانع للمعدات المستخدمة لتصنيع أشباه الموصلات، يوم الاثنين أنها افتتحت معمل اختبار لمعدات الطباعة الحجرية High NA EUV، بالتعاون مع شركة أبحاث الرقائق البلجيكية Imec.
إن المختبر الموجود في فيلدهوفن بهولندا، والذي استغرق سنوات عديدة في الإنشاء، سيمنح كبار صانعي الرقائق وشركات توريد المعدات والمواد الأخرى فرصة مبكرة للعمل باستخدام الأداة التي تبلغ تكلفتها 350 مليون يورو (380 مليون دولار)، وهي الأولى من نوعها.
تهيمن ASML على سوق معدات الطباعة الحجرية، وهي خطوة مركزية في عملية صناعة الرقائق حيث يتم استخدام حزم الضوء لإنشاء دوائر الرقائق.
من بين الشركات المصنعة للرقائق، فقط TSMC وSamsung وIntel ومتخصصو الذاكرة SK Hynix وSamsung قادرون على التصنيع باستخدام الجيل الحالي من ASML من أجهزة الأشعة فوق البنفسجية القصوى أو EUV.
تتيح أداة High NA الجديدة دقة أفضل بنسبة تصل إلى 60%، ومن المتوقع أن تؤدي إلى أجيال جديدة من الرقائق الأصغر حجمًا والأسرع.
وكررت ASML يوم الاثنين أنها تتوقع أن يبدأ العملاء التصنيع التجاري باستخدام الأداة في 2025-2026.
حتى الآن، قامت ASML بشحن جهاز اختبار واحد فقط إلى شركة Intel في الولايات المتحدة، والتي تخطط لاستخدام الأداة في عملية 14A الخاصة بها في عام 2025.
لدى ASML طلبات لأكثر من عشرة، على الرغم من أن TSMC، أكبر عميل لها لمعدات الأشعة فوق البنفسجية، قالت إنها لا تحتاج إلى استخدام أدوات High NA لرقائق A16 الخاصة بها، والتي من المتوقع أن تدخل الإنتاج في عام 2025.